Мишени для распыления требуют более строгих стандартов, чем стандарты традиционной индустрии материалов. Общие требования включают следующие аспекты: размер, плоскостность, чистота, содержание различных примесей, плотность, N/O/C/S, размер зерна и контроль дефектов. К более строгим или специальным требованиям относятся: шероховатость поверхности, значение сопротивления, однородность размера зерна, однородность состава и микроструктуры, содержание и размер посторонних примесей (оксидов), магнитная проницаемость, сверхвысокая плотность и сверхмелкое зерно и т. д. Покрытие магнетронным напылением недавно разработанный метод нанесения покрытия методом физического осаждения из паровой фазы, в котором система электронной пушки используется для испускания электронов и их фокусировки на материале покрытия. В соответствии с принципом обмена импульсом атомы выбрасываются с поверхности мишени с высокой кинетической энергией, распыляются на подложку и оседают на ней, образуя пленку. Этот материал с покрытием называется мишенью для распыления. Мишенями для распыления могут быть металлы, сплавы, керамические соединения и т.д.
Покрытие магнетронным напылением является недавно разработанным методом физического осаждения из паровой фазы. По сравнению с методом напыления он имеет значительные преимущества во многих аспектах. Как зрелая технология, магнетронное распыление широко применяется во многих областях.
Основные области применения: мишени для распыления в основном используются в электронной и информационной отраслях, таких как интегральные схемы, хранение информации, жидкокристаллический дисплей, лазерная память, электронные устройства управления. Он также может применяться в области покрытия стекла, износостойких материалов, стойкости к высокотемпературной коррозии, декоративных изделий и других отраслей промышленности.
Широкая молибденовая мишень высокой чистоты является одним из ключевых сырьевых материалов для производства AMOLED-панелей. Наша продукция включает сверхширокие планарные мишени для распыления молибдена высокой чистоты и высокой плотности, подходящие для TFT-LCD/AMOLED, которые в основном используются в TFT-LCD/AMOLED поколениях G2.5-G6, тем самым заполняя пробел в широких молибденовых цель (1800 мм) на рынке Китая.
Чистота: 99.95%
Плотность: ≥ 10.2 г/см3
Размерный ряд: индивидуальная настройка доступна по мере необходимости
Внешний вид: микроскопическое исследование показывает поверхность с равномерным металлическим блеском, без обесцвечивания от окисления/гидрогенизации, царапин, деформации, заусенцев и т.д.
Применение: Применяется для изготовления нагревательных и теплоизоляционных деталей вакуумных термических печей, а также для изготовления варочных котлов, нагревателей, охладителей, различной посуды и приборов в химической промышленности. Он также широко применяется в аэрокосмической промышленности, медицинских инструментах и других областях. Мишень для распыления используется для магнетронного напыления покрытия, которое представляет собой недавно разработанный метод физического осаждения из паровой фазы (PVD).
Вращающаяся мишень является своего рода мишенью для распыления. Мишень имеет цилиндрическую форму, внутри которой находится стационарный магнит для получения вращательного покрытия с малой скоростью.
При необходимости мы можем предоставить мишени для распыления молибдена следующих размеров: длина ≤ 165 мм X1000 мм, чистота ≥ 99.95%.
Применение: солнечные батареи, архитектурное стекло, автомобильное стекло, полупроводники, телевизоры с плоским экраном и т. д.